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Elektrozylinder in der Halbleiterindustrie Sorgen Sie für saubere, hochpräzise und wiederholbare Bewegungen für die Waferhandhabung, Automatisierung und Komponentenmontage. Sie sind für Prozesse mit hohem Zyklus von entscheidender Bedeutung, da sie eine höhere Geschwindigkeit (bis zu zehnmal so hoch wie Hydrauliksysteme) und 20 % Energieeinsparung bieten und sich gleichzeitig für Reinraumumgebungen eignen.
Präzision und Geschwindigkeit: Elektrozylinder, oft mit BLDC-Motoren, gewährleisten eine genaue, schnelle und wiederholbare Positionierung von Wafern und Werkzeugen in der Produktion.
Reinraumkompatibilität: Sie sind rauscharm und ohne elektromagnetische Störungen konzipiert und eignen sich für empfindliche, sterile Fertigungsumgebungen.